Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів
Проценко І.Ю., Чорноус А.М., Проценко С.І.
Навчальний посібник. - Суми: Вид-во СумДУ, 2007.-264 с. У навчальному посібнику розглянуті питання будови та принципу роботи електронно-променевих і спектральних приладів, таких, як просвічуючі та растрові електронні мікроскопи, електронографи, рентгенівські апарати, прилади мікрорентгенівського аналізу, оже-електронної спектроскопії та вторинно-іонної мас-спектрометрії. Викладені експериментальні методи дослідження кристалічної будови та хімічного й елементного складу плівкових матеріалів.
Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом Електронні пристрої та системи.
Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом Електронні пристрої та системи.
Kategori:
Bahasa:
ukrainian
ISBN 10:
9666571579
ISBN 13:
9789666571574
Fail:
PDF, 5.49 MB
IPFS:
,
ukrainian0