Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
Юрий Райзер, Михаил Шнейдер, Николай Яценко (Авт.)
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разрядынизкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей ВУЗов, а также для научных работников и инженеров.
Kategori:
Tahun:
12
Penerbit:
Наука,ФИЗМАТЛИТ,МФТИ
Bahasa:
russian
Halaman:
238
ISBN 10:
5741700063
ISBN 13:
9785741700068
Fail:
DJVU, 5.84 MB
IPFS:
,
russian, 12
Litres
Hendak menambah kedai buku? Hubungi kami di support@z-lib.fm
Tukar fail
Lebih banyak hasil carian
Faedah lain 
